反射型や透過型の偏光子を組み合わせた光学配置による偏光計測が可能です。検出器とその直前にある偏光子を 固定した状態で反射光または透過光の周りに一回転させることで（反射光強度または透過光強度の方位角依存）、偏光子の性能と軟X線の偏光状態を同時に定量評価することができます。