図5-28 （a）金単層膜回折格子（b）W/B4C多層膜回折格子の模式図（c）回折効率の測定結果
W/B4C多層膜回折格子は、上から2番目のB4CをほかのB4Cに比べ2倍厚くすることで、2000〜4000 eV領域の全域で一様な回折効率を示すのが分かります。
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図5-28 （a）金単層膜回折格子（b）W/B4C多層膜回折格子の模式図（c）回折効率の測定結果
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