図5-29 （d）電顕に搭載されたX線多層膜回折格子分光器の概観（e）ITOからの発光スペクトルの測定結果
多層膜回折格子分光器によって、InとSnの発光スペクトルの微細構造を明瞭に計測できるようになりました。
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