3 MeVの水素イオンビームを精密四重局電磁石で直径1 μmまで集束し、ビームスキャナで試料上の100 μm × 100 μmの範囲を照射します。試料から発生したX線の位置とエネルギーをコンピュータで処理し、元素の三次元分布に再構成します。