高エネルギー粒子により固体中の原子が弾き出されます。まず、従来評価式に相当する欠陥生成が起きます（a）。その後、その影響は広範囲に及び欠陥数は従来評価式よりも多くなり（b）、その後冷却過程を経ると、実際に残留する欠陥数は従来評価式よりも少なくなります（c）（図はAndrea Sandによる）。