図5-3 ダンプに廃棄された割合と薄膜の厚みの履歴
CTによってダンプに廃棄される電流量の絶対値を測定し、MWPMの測定からH
0
とH
-
の存在量の相対的な比を得ることができます。それらのデータから評価した厚みは、ビーム照射による昇華で照射直後に下がりますが、その後は形状変化やピンホールの形成によって厚みが変動しています。本研究開発によって運転中に薄膜を使用しながら、膜厚変化を測定することが可能となりました。
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