（a）典型的なSi 2pスペクトルの時間変化です。（b）SiO₂表面から入り込んだO₂はSiO₂内部を拡散した後、SiO₂/Si界面に辿り着きます。（c）Si-Si結合とO₂が直接反応するためには、大きなエネルギーが必要です。（d）私たちのモデルでは、界面に生じた欠陥への分子状吸着を介して、反応が進行すると考えています。このような反応には、エネルギーは必要ありません。