分析対象の試料表面に電子線を照射し、試料から発生する特定の波長を有するX線を測定することで、元素分布を把握する装置であり、表面元素分析分野では広く用いられている装置である。(1-3 将来のFBR燃料の照射挙動を調べる)
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