針状試料の先端に高電圧をかけることでイオンを電界蒸発させて、これを検出することで試料内の原子分布を得る実験方法。位置敏感型検出器を組み合わせることによって原子の三次元的な濃度分布を測定する三次元アトムプローブ法が一般的である。(5-4 原子炉圧力容器の耐食健全性を調べる)
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