超短パルスレーザ加工

1985年、CPAレーザの高出力化が提案されて以来、フェムト秒からピコ秒のレーザ光を用いた加工技術の進展が進められた。レーザ光を透明媒質に集光すると、非線形効果により媒質の屈折率が急上昇しレーザ光は一層軸上に収斂する。これにより高い電界強度が発生し、非伝導帯に電子が汲み上げられ透明媒質には自由電子が発生する。すなわち、金属化する。この電子により光は吸収され、電子温度の上昇と格子振動の誘起が生じ、熱が発生する。電界強度が低い状態ではレーザ加工のしきい値は、表面状態や汚れに大きく作用を受けるが、超短パルスレーザ加工では表面状態や汚れとは無関係に決定される。これが加工点の形状を安定化させる。(5-7 耐熱光学センサで原子炉配管の地震時健全性を探る)


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