赤い破線上の棒グラフはClの内殻軌道電子、青い破線上はSiの内殻軌道電子をそれぞれ励起したときの脱離イオンの収量を示しています。Clの内殻軌道電子を励起すると、脱離イオンのほとんどはCl⁺イオンとなります。