EBSD

Electron Backscatter Diffraction patternの略で電子線後方散乱回折による装置一般及び測定手法を示す。原理は、加速した電子線を試験片表面に照射しブラック反射により弾性散乱した電子が描く菊地パターンを画像解析などによりデータ解析することで、電位ビームが照射された微小な領域の結晶方位を測定する。走査型電子顕微鏡と組み合わせることで、試料表面を広範囲にかつ高い空間分解能で結晶方位の情報を得ることができる。(7-4 原子炉構造材料の経年劣化メカニズム研究の新展開)


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