原子が数個から数千個の塊になったものをクラスターと呼ぶ。これをイオン化してMeVエネルギー領域に加速したものをここでは高速クラスターイオンと呼ぶ。２次イオン放出率が高く、高感度な表面分析に応用可能であるなど、新たな量子ビームとして期待される。(14-9 炭素3原子からなる分子イオンの構造・電荷状態を観る)
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