量子ビームによる微細加工の代表的なものには、樹脂を利用したフォト（光）リソグラフィが挙げられる。その光の代わりに電子線を利用してパターンを転写する技術を電子線リソグラフィと呼ぶ。また、次世代リソグラフィー技術としてナノインプリントリソグラフィ（NIL）が注目されている。NILは、光ディスク製作でよく知られている金型からの転写技術を発展させ、その解像度をナノメートルスケールにまで高め、マイクロ／ナノ構造体を安価に大量生産できる技術として注目されている。電子線ナノインプリントリソグラフィは、放射線橋かけ技術を駆使した電子線リソグラフィとナノインプリントリソグラフィとを融合させた最先端の量子ビームによる微細加工技術である。リソグラフィ法： リソグラフィは、もともと石版刷等の版画のことを意味するが、半導体製造技術においては、光や電子線等を利用して基板にパターンを転写する微細加工技術のことを指す。(5-7 環境に優しいプラスチックの微細加工方法を開発)
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