物質の拡散方程式に、対象とする物質の生成や消滅に関する項を加えた方程式。本文における不純物(リン原子)，空孔，格子間原子対に対する三つの拡散レート方程式のうち、空孔と格子間原子対に関する式は、照射による生成、格子欠陥による消滅、両者の再結合による消滅の項を含む。リン原子に関しては、生成や消滅をしないため通常の拡散方程式で表される。(11-1 照射下材料内を不純物はどのように拡散するのか)
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