Electron-Probe Micro-analyzer： 試料表面に電子線ビームを照射し、発生した特性X線を検出して試料表面あるいはその表面近くの浅い部分の元素を同定する分析装置。(6-1 燃料に蓄積される核分裂生成ガス量を高精度で評価する)
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