材料の微小領域における原子の空間位置を、格子間隔レベルの空間分解能で三次元可視化する分析手法。先端径100 nm程度の先鋭な針状試料に10 kV程度の正電圧をかけると試料先端で高電界となり、電界蒸発が発生する。この電界蒸発したイオンは二次元検出器によりその位置情報が特定され、検出器に到達するまでの飛行時間により質量が同定される。個々のイオンの位置及び質量情報を深さ方向に連続的に検出し再構築することで、三次元の原子分布が得られる。(6-4 ステンレス鋼鋳鋼の熱時効脆化の評価)
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