Indium Tin Oxide（ITO）は、酸化インジウム（In2O3）にスズ（SnO2）をドープした化合物で、薄膜の場合、可視光の透過率が高く、導電性を有することから、フラットパネルディスプレイや太陽電池等の電極材料として用いられている。ナノ領域の分析技術はInやSnの組成比だけでなく、電子構造及びその元素分布までを計測できることからデバイスの性能向上のほか、レアメタルであるInの代替物質の研究開発にも貢献できると期待される。(5-10 X線と電子顕微鏡技術の融合によりナノ領域の分析に挑む)
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