MeV級の軽イオンマイクロビームを試料に照射した際に発生する、特性X線のエネルギーと強度から試料内の元素の種類と分布を測定する方法である。電子ビームを用いる電子マイクロアナライザと比較すると、マイクロPIXEは連続X線によるバックグラウンドが低いため、高感度測定が可能である。(5-9 イオンマイクロビームによる非破壊三次元元素分析)
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