表面分析法の一種である。試料にX線を入射することで放出される光電子のエネルギーを捉えることで、元素の同定及び化学形態の評価、またその信号強度から定量分析が可能である。分析できる深さが数nmと非常に浅く、試料表面の薄い層を観察できる。(1-6 核燃料再処理機器材料に対する海水成分・コンクリート成分の影響を調査する)
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