加速された電子を薄く加工した試料に透過させ、透過した電子を利用して拡大像を得ることのできる顕微鏡のことである。電子の加速エネルギーにもよるが、一般的な透過型電子顕微鏡の分解能は0.2 nm以下と言われる。(4-2 放射線環境中のセラミックスがもつ自己修復能力)
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