機械・装置 No.4-1

電源なしで超高真空を維持

真空容器型のゲッターポンプへの表面改質

 

 軽量真空容器型ゲッターポンプ

 省電力、省スペース、無振動で機能

 従来ポンプなしで超高真空を長期間維持

キーワード: 超高真空、ゲッターポンプ、真空容器、チタン、NEGコーティング

 

図4-1

拡大図(646 kB)

 


技術のステージ
利用分野

stage3

・半導体試料の輸送時の超高真空維持
・電子顕微鏡の超高真空化
・分析装置の超高真空化
関連業種
知財・関連技術情報
電子部品・デバイス・電子回路製造業
情報通信機械器具製造業
特許第7195504号



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