セシウムフリー、かつ小型・高効率で極めて安全な負イオン源の提供

粉粒体の高周波加熱による負イオン生成装置の開発

●　セシウムフリーと高い負イオン生成効率を両立

●　電子付着用にセシウムを使用しないので安全

●　負イオン生成面積が従来の10倍以上に増大

キーワード：　負イオン源、高周波加熱、低仕事関数物質、セシウムフリー、高効率

図4-2

技術のステージ	利用分野
	・イオンビーム分析、加速器質量分析・PET等の医療用放射線分野・半導体集積回路の製作プロセス等

関連業種	知財・関連技術情報
業務用機械器具製造業、電子部品・デバイス・電子回路製造業	特開2023-119144