● 軽量真空容器型ゲッターポンプ
● 省電力、省スペース、無振動で機能
● 従来ポンプなしで超高真空を長期間維持
キーワード: 超高真空、ゲッターポンプ、真空容器、チタン、NEGコーティング
技術のステージ
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利用分野
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・半導体試料の輸送時の超高真空維持 ・電子顕微鏡の超高真空化 ・分析装置の超高真空化 |
関連業種
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知財・関連技術情報
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電子部品・デバイス・電子回路製造業 情報通信機械器具製造業 |
特許第7195504号 特開2023-021140 |