遠隔で表面の形状と元素組成を同時に検知

キーワード：　レーザー誘起ブレークダウン分光（LIBS）、光音響波、形状認識、元素分析

光ファイバ伝送による遠隔性、長焦点集光性に優れたマイクロチップレーザーを内蔵した組成分析ヘッド（LIBSプローブ）、レーザー誘起音響波の計測を組合せることで、焦点方向（Z軸）の最適位置条件が決定可能です。その結果、XYZ走査により組成及び表面形状（凸凹）情報を取得することができます。