計測 No.6-5

空気中のエアロゾルを見る、測る

リモートパーティクルカウンター

 

 空気中に浮遊する微粒子(エアロゾル)を直接測定

 微粒子の大きさ、数を瞬時に測定、モニター可能 

 数~数百m離れた大気の微粒子を非接触で測定

キーワード: エアロゾル、微粒子、遠隔測定、短パルスレーザー、レーザーレーダー

 

図6-5

 


技術のステージ
利用分野

stage3

・クリーンルームの清浄度計測
・屋内ダスト、大気の環境評価
関連業種
知財・関連技術情報
電子部品・デバイス・電子回路製造業、
医療業、技術サービス業
特許第4229325号
特許第3963381号



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