環境変化による保護皮膜の耐食性消失を瞬時に検知する

金属酸化物薄膜還元検知センサ

●　金属酸化物薄膜素子の抵抗変化をモニタリング

●　使用環境中における酸素濃度低下を検知

●　シンプル構造、簡便な計測方法で500℃超にも適用

キーワード：　酸化物、薄膜、腐食センサ、電気抵抗

図6-5

技術のステージ	利用分野
	・プラント等構造材料・各種金属製機器の保全・健全性のモニタリング

関連業種	知財・関連技術情報
鉄鋼業、化学工業	特開2021-162404