計測 No.6-4

空気中のエアロゾルを見る、測る

リモートパーティクルカウンター
 

 空気中に浮遊する微粒子(エアロゾル)を直接測定

 微粒子の大きさ、数を瞬時に測定、モニター可能 

 数〜数百m離れた大気の微粒子を非接触で測定

キーワード: エアロゾル、微粒子、遠隔測定、短パルスレーザー、レーザーレーダー

 

大気中の浮遊微粒子の撮影方法は、カメラのフラッシュ撮影と同じ原理です。フラッシュ光の代わりにパルスレーザー光を使い、高速シャッターのカメラを用いて遠くの微粒子からの散乱光を下図のように撮影できます。この画像から、微粒子の数と大きさを測定することができます。

図6-4

 


技術のステージ
利用分野

stage3

・クリーンルームの清浄度計測
・屋内ダスト、大気の環境評価
関連業種
知財・関連技術情報
電子部品・デバイス・電子回路製造業、
医療業、技術サービス業
特許第5115912号特許第3963381号
特許第4229325号




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